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抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)用于半導(dǎo)體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲(chǔ)器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)抗粘劑氣相涂布機(jī)模具在使用前，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

勻膠機(jī)，可程式勻膠 機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

真空無氧烘箱，高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預(yù)處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī)，抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

有降溫功能真空烘箱，300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理，晶圓，芯片，電容，電池，封裝，光刻膠固化，PI固化等

充氮真空烘箱，快速降溫真空烤箱用于鍵合材料的真空預(yù)處理 、BCB固化、ITO膜退火，PI膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)。