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智能型圖形反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 充氮?dú)鈭D像翻轉(zhuǎn)設(shè)備適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。
NH3氨氣烘箱 氨氣真空系統(tǒng) 氨氣圖形反轉(zhuǎn)爐通過(guò)其化學(xué)性質(zhì)，在光刻膠中發(fā)揮著調(diào)整極性、優(yōu)化圖形轉(zhuǎn)移效果的重要作用，是微細(xì)制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料之一。
潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應(yīng)用場(chǎng)景 半導(dǎo)體行業(yè)?：晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化（如PI/BCB/PBO涂層）/晶圓退火、電子元器件制造（前烘、堅(jiān)膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等），減少微塵污染90% ?新能源領(lǐng)域?、醫(yī)療與科研?
氮?dú)鉂崈艉嫦? 光刻膠無(wú)塵烘箱 百級(jí)烘箱 適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.
墨點(diǎn)烘箱，墨點(diǎn)氮?dú)夂嫦涫前雽?dǎo)體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點(diǎn)工藝后，將硅片放入烘箱進(jìn)行墨點(diǎn)烘干專用設(shè)備。
