抗粘 劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)的必要性

  在納米壓印工藝中模具在進(jìn)行壓印前要進(jìn)行預(yù)處理，當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時，有2種可能，一種是模具可*脫離，壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來，使得壓印圖形無法保留，而這些粘在模具上的膠也會污染模具。因此模具在使用前，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)適用范圍

半導(dǎo)體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)主要技術(shù)參數(shù)                                      

3.1 工作室尺寸： 350×350×350（mm）

3.2 材質(zhì)： 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼，內(nèi)腔采用316L醫(yī)用不銹鋼

3.3 溫度范圍 ：RT+20-450℃

3.4 溫度分辨率： 0.1℃

3.5 溫度波動度 ：≤±0.5

3.6 真空度： ≤20torr

3.7 潔凈度 ：設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率 ：   

3.9 控制儀表 人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù) 1層

3.11真空泵 無油泵

3.12 保護(hù)裝置 超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等