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無氧固化爐,高溫無氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱單腔內尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個腔體，可定制其他尺寸，多腔體

鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，F(xiàn)OWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。

PI無氧烘箱工藝流程用于半導體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。

精密干燥箱，高精度烘箱用于半導體，電子，實驗室，金屬，橡膠等行業(yè)。烘干，固化，老化等工藝。可延伸為真空烘箱，無氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS烘箱等。

PI烘箱，厭氧烘箱固相亞胺化常用于PI薄膜的制備即將PAA溶液澆鑄成膜后加熱進行亞胺化溶液亞胺化是在PAA溶液中加入共沸溶劑加熱回流通過共沸溶劑的蒸出帶出反應過程中產(chǎn)生的水促進反應進一步進行。

智能型無塵無氧烘箱，高溫無塵 無氧化烘箱又稱為PI固化烘箱，厭氧烘箱，高溫無氧烘箱，用于PI、BCB膠高溫固化、LCP熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導體、新材料行業(yè)。