百級氮氣烤箱是一種專門設計用于在高潔凈度環境下進行加熱處理的設備，通過內置的高效過濾系統（通常為HEPA或ULPA過濾器），確保內部空氣中的顆粒物濃度不超過每立方米100個0.5微米以上的粒子，從而達到“百級”潔凈標準。此外，氮氣作為惰性氣體被引入烤箱內，以防止氧化反應的發生，特別適用于需要避免空氣接觸的敏感材料加工。